薄膜制備與分析技術

• 二次電子發(fā)射系數(shù)測試系統(tǒng)
• 激光分子束外延系統(tǒng)
• 脈沖激光沉積系統(tǒng)

微納加工技術

• 微波等離子去膠機
• 聚焦離子束系統(tǒng)
• 電子束光刻系統(tǒng)
• 紫外光刻機

生物芯片、芯片掃描儀、芯片點樣儀、芯片檢測儀

其它行業(yè)專用

研磨機、研磨儀、粉碎機、球磨機

電鏡附件及外設

鍍膜機

其它粒度分析儀

掃描探針顯微鏡SPM（原子力顯微鏡AFM、掃描隧道顯微鏡STM）

等離子體表面處理儀

光學表面分析儀

其它消解設備

其它表面測試

其它無損檢測儀器/設備

激光脈沖沉積(PLD)

介電常數(shù)測定儀

光譜部件及外設

電子束刻蝕系統(tǒng)

俄歇電子能譜（AES）

電子/半導體

其它長度計量儀器

輪廓儀

表面形貌與測量技術

• 寬頻介電阻抗譜儀
• 楊氏模量無損測量系統(tǒng)
• 掃描式激光分析儀
• 三維表面形貌儀
• 原子力顯微鏡

紅外測溫儀

• 便攜式紅外測溫儀
• 在線式紅外測溫儀
• 光學高溫計
• 特殊用途紅外測溫儀