在集成電路(ic)制造領(lǐng)域,超純水(ultrapure water, upw)被稱為“工業(yè)血液”,是晶圓清洗、蝕刻、光刻等關(guān)鍵工藝的必需介質(zhì)。其純度直接影響芯片良率與性能——水中即使存在微米級(jí)顆粒或十億分之一(ppb)濃度的離子殘留,也可能導(dǎo)致電路短路、漏電或器件失效。據(jù)國際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(itrs)統(tǒng)計(jì),全球約70%的芯片缺陷與工藝用水質(zhì)量直接相關(guān)。
更新時(shí)間:2025-08-25