薄膜計(jì)量光譜儀軟件

SpectraRay/4 是 SENTECH 有的光譜橢圓偏振儀軟件，包括橢圓、反射和透射數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集、建模、擬合和擴(kuò)展報(bào)告。它支持可變角度、多實(shí)驗(yàn)和組合光度測量。 包括一個(gè)基于 SENTECH 厚度測量和文獻(xiàn)數(shù)據(jù)的龐大而全面的材料數(shù)據(jù)庫。大量的色散模型允許對幾乎任何類型的材料進(jìn)行建模。

1. 產(chǎn)品概述

SpectraRay/4 是 SENTECH 有的光譜橢圓偏振儀軟件，包括橢圓、反射和透射數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集、建模、擬合和擴(kuò)展報(bào)告。它支持可變角度、多實(shí)驗(yàn)和組合光度測量。 包括一個(gè)基于 SENTECH 厚度測量和文獻(xiàn)數(shù)據(jù)的龐大而全面的材料數(shù)據(jù)庫。大量的色散模型允許對幾乎任何類型的材料進(jìn)行建模。

2. 映射

我們的光譜橢圓偏振儀的映射選項(xiàng)具有預(yù)定義或用戶定義的模式、廣泛的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)以及以 2D 顏色、灰色、等高線、+/- 與平均值的偏差和 3D 繪圖等圖形顯示數(shù)據(jù)。

3. 模擬

測量參數(shù)可以模擬為波長、光子能量、倒數(shù)厘米、入射角、時(shí)間、溫度、薄膜厚度測量和其他參數(shù)的函數(shù)。

4. 交互模式

設(shè)置測量參數(shù)并開始薄膜厚度測量

通過從材料庫拖放或從現(xiàn)有的色散模型中拖放來構(gòu)建模型

定義和改變參數(shù)，使計(jì)算出的光譜與測量的光譜擬合

以交互方式改進(jìn)模型，實(shí)現(xiàn)佳品質(zhì)因數(shù)

通過從預(yù)定義或自定義的模板中進(jìn)行選擇，將結(jié)果報(bào)告為 word 文檔

將所有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、實(shí)驗(yàn)方案和注釋保存在一個(gè)實(shí)驗(yàn)文件中

5. 配方模式

SpectraRay/4 配方模式的優(yōu)點(diǎn)是兩步操作：

選擇和

從庫中執(zhí)行預(yù)定義的配方。

配方包括厚度測量參數(shù)、模型、擬合參數(shù)和報(bào)告模板。 

6. 靈活性和模塊化

SpectraRay/4 具有單軸和雙軸各向異性材料測量、薄膜厚度測量和層測量功能。該軟件可處理去化、不均勻性、散射（Mueller 矩陣）和背面反射等樣品效應(yīng)。

該軟件包括通用光譜橢圓偏振法軟件包的所有實(shí)用程序，用于數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出（包括 ASCII）、文件管理、光譜的算術(shù)操作、顯示、打印和報(bào)告（Word 文件格式 *.doc）。腳本編寫功能使其非常靈活，可以自動(dòng)執(zhí)行常規(guī)測量，為要求苛刻的應(yīng)用進(jìn)行定制，并控制第三方硬件，如傳感器、加熱臺(tái)、樣品池或低溫恒溫器。

關(guān)鍵詞：SENTECH  薄膜控制  

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