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產(chǎn)品簡介

ST8000光學(xué)薄膜測厚儀是把UV-Vis光照在測量對象上，利用從測量對象中反射出來的光線測量膜的厚度的產(chǎn)品。這種產(chǎn)品主要用于研究開發(fā)或生產(chǎn)導(dǎo)電體薄膜現(xiàn)場，特別在半導(dǎo)體及有關(guān)Display工作中作為 In-Line monitoring 儀器使用

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ST8000光學(xué)薄膜測厚儀是把UV-Vis光照在測量對象上，利用從測量對象中反射出來的光線測量膜的厚度的產(chǎn)品。這種產(chǎn)品主要用于研究開發(fā)或生產(chǎn)導(dǎo)電體薄膜現(xiàn)場，特別在半導(dǎo)體及有關(guān)Display工作中作為 In-Line monitoring 儀器使用。

ST8000光學(xué)薄膜測厚儀產(chǎn)品特性

1) 因為是利用光的方式，所以是非接觸式，非破壞式，不會影響實驗樣品。

2) 可獲得厚度和 n,k 數(shù)據(jù)。

3) 測量迅速正確，且不必為測量而破壞或加工實驗樣品。

4) 可測量3層以內(nèi)的多層膜。

5) 根據(jù)用途可自由選擇手動型或自動型。

6) 產(chǎn)品款式多樣，而且也可以根據(jù)顧客的要求設(shè)計產(chǎn)品。

7)可測量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 6“ 8”, 12“ ...)

8)用于特殊領(lǐng)域(超精密,微小部位-0.2um2 ) a

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