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詳細內(nèi)容
MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統(tǒng)。
主要技術(shù)參數(shù)：
◆ 測量范圍(XYZ)：標(biāo)準(zhǔn)：200×200×25mm；可選：300x300x25
◆ 視場內(nèi)測量精度：10nm(100X 鏡頭)；Z軸聚焦范圍：25 mm
◆ 視場內(nèi)測量范圍：0.5um~400um；
◆ 視場內(nèi)測量重復(fù)性(100x 物鏡)： 晶圓上<0.010um(1δ)；
掩模板上0.005um(1δ)；
◆ 承重：2kg
◆ 標(biāo)配鏡頭10x，可選鏡頭：5X, 20X, 50X, 100X
MicroLine 300 is a table type semi-automatic CD measurement system .
The main technical parameters :
◆ X,Y,Z Measuring Range (mm): standard :200x200x25 optional : 300X300x25
◆ The field measurement accuracy ：10nm （100X lens ） Z Foucsing Range (mm) : 25
◆ The field measurement range ：0.5um~400um；
◆ The field measurement repeatability （100X lens）：on wafer < 0 0.010m(1δ)；
on mask plate 0.005um(1δ)；
◆ Max Recommanded Load : 2kg
◆ Lens ： standard ：10X
optional ：5X，20X，50X，100X。
關(guān)鍵詞：美國進口 高精密高效 光學(xué)影像儀
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