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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點(diǎn)：1 、非接觸式測量：避免對象受損。2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm －－-200μm。3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

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產(chǎn)品特點(diǎn)：

1 、非接觸式測量：避免對象受損。

2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm －－-200μm。

3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

4 、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。

5、高速數(shù)字訊號處理器：實(shí)現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。

6 、掃描儀：采用死循環(huán)控制系統(tǒng)。

7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

8 、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的使用者接口，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。

應(yīng)用領(lǐng)域：

1、半導(dǎo)體芯片

2、液晶產(chǎn)品（CS,LGP,BIU）

3、微機(jī)電系統(tǒng)

4、光纖產(chǎn)品

5、資料存儲盤（HDD,DVD,CD）

6、材料研究

7、精密加工表面

8、生物醫(yī)學(xué)工程

機(jī)型		SIS 1200	SIS 2000
工作臺	尺寸	250 mm×174 mm	350mm×350mm
	傾斜度	±3 °
測量行程		X:150mm Y:100mm	X:200mm Y:200mm
Z軸行程		50mm	100mm
運(yùn)動方式		手動	自動，馬達(dá)驅(qū)動
掃描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1 nm
CCD		黑白CCD， 640×480 像素
物鏡安裝架		手動導(dǎo)引五孔式	手動 5個位移的可定位夾具
鏡頭選配		鏡頭：5×、10×、20×、50×

系統(tǒng)參數(shù)：

測量技術(shù)	增強(qiáng)相位掃描干涉相位移動干涉
放大率	2.5X	5X	10X	20X	50X
視場 (mm)	3.62×2.72	1.81×1.36	0.90×0.68	0.45×0.34	0.18×0.13
橫向分辨率	4.72μm	2.72μm	1.18μm	0.88μm	0.64μm
控制器	計(jì)算機(jī)
軟件	i2000SNU Map Windows 2000環(huán)境下運(yùn)行
掃描儀	死循環(huán)控制
抗震工作臺	氣動裝置

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