| 1. X線源 | 油浸式1.2mA小型微小焦點X線管. 50kV管電壓,可變管電壓。 |
2. 照射方式 | 由上而下垂直照射方式。 |
3. 檢出器 | 比例計數(shù)管。 |
4. 濾波器 | 採用 Co 和 Ni 雙濾波器及數(shù)位式濾波器,可單一或同時使用。 |
5. 準(zhǔn)直儀 | Collimator 採用五種孔徑一體成型式,可自動切換使用。 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜. (選購) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜. (選購) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜. |
6. 樣品觀測系統(tǒng) | 彩色CCD及高畫質(zhì)顯示幕。 |
7. 譜分析器 | 使用256高頻分析器,光譜自動分析,在執(zhí)行測量及運算時,非?焖。 |
電腦操作部: | 8. 電腦系統(tǒng)(※僅供參考) | IBM 相容中文個人電腦. CPU:Intel Celeron 1GHz. RAM:128 MB. Floppy Disk:3.5 ×1, 40倍速 CD-ROM ×1. Hard Disk:40 GB. 17" 高畫質(zhì)顯示幕. EPSON彩色噴墨式印表機。 |
9. 本機型(COSMOS-1X系列)之操作系統(tǒng)採中文視窗(Windows98)對話式操作,非常簡便。 |
參. 特性說明: | 10. 測量項目 | 單層膜厚測定. 2層膜厚測定. 3層膜厚測定. 無電解鎳膜厚測定. 合金膜厚成份比同時測定. 元素的光譜峰值測定分析. |
11. 測量材質(zhì) | 原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發(fā)法測量。 原子序22以下為吸收法測量。 |
12. 測量範(fàn)圍 | 原子序22 ~ 24 , 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 , 約 0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51 , 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 , 約 0.05~ 10 um. |
13. 測量機能 | 同一點重複測定機能 輸出形式設(shè)定. 能譜測定. |
14. 測量條件或膜厚規(guī)格可以保存 | 當(dāng)要測量相同的製品時,若測量條件已儲存,可以馬上進行測量。 最大檢量線檔案數(shù):可登錄儲存100組檔案。 最大測量檔案數(shù) :可登錄儲存300組檔案。 |
15. 檔案記錄 | 每一個批號可儲存無限個測量資料.(因所使用的電腦之容量大小而定) 每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱. 每個批號可單獨執(zhí)行統(tǒng)計處理. 每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線). |
16. 資料處理 | 統(tǒng)計值表示:平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、最大值、最小值、上下限值範(fàn)圍、Cp、Cpk。 X-R 管制圖. 柱狀圖:有自動設(shè)定及自己任意設(shè)定二種方式。 可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。 |
17. 底材補正 | 當(dāng)樣品與標(biāo)準(zhǔn)片的底材不同時,可作底材補正。 |
18. 觀物顯示幕 | 十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕 |
。 安全裝置. | 19. 本機俱有自動安全斷電系統(tǒng)功能. |
20. 由鎖匙開關(guān)來控制X 線輸出,以防止外人任意操作. |
其他機能. | 21. 密碼辨識功能 |
22. 裝置維護調(diào)整 |
23. 測量部主機 | 尺寸:362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜. 重量:約 44.2 Kg. |
24. 操作部:(※僅供參考) | 電腦尺寸:180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜. 重量:約 8.8 Kg. 顯示幕尺寸:360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜. 重量:約16.5 Kg. 印表機尺寸:500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜. 重量:約 4.3 Kg. |
X-Y-Z軸可移動式測量臺 | 25. 測量臺尺寸及移動量. | 測量臺尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜ 移動量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜. |
26. 測量樣品限制 | 樣品限制高度: 45㎜ 樣品限制重量: 3 Kg. |
使用電源. | 27. 電壓 | AC100V ±10V ; 50/60Hz (選購) AC110V, AC220V. |
28. 容量 | 700V |