led氣相成底膜處理系統(tǒng),氣相成底膜真空烘箱目前在led芯片制造中用hmds成膜處理一般是在一個(gè)集脫水烘焙和氣相成膜兩種作用的真空腔中進(jìn)行,這種方法可以實(shí)現(xiàn)批量處理。待處理晶片放在真空腔中的熱板上,用氮?dú)庾鳛檩d氣將hmds蒸氣通入腔室中,達(dá)到預(yù)先設(shè)定的壓力對(duì)晶片進(jìn)行成膜處理,完畢后將腔室中的氣體抽空,然后通氮?dú)獾匠。js-hmds預(yù)處理系統(tǒng)對(duì)預(yù)處理過程的工作溫度、工作真空度、處理時(shí)間、處理時(shí)
更新時(shí)間:2025-01-24