һ��Ҫ���g(sh��)����(sh��)�a(ch��n)Ʒ��̖LML-1LMF-1LML-2LMF-2LML-3LML-4��݆ÿ�D(zhu��n)���w����M30.0020.0050.010.02�~������M3/H0.20.512����Ӌ(j��)�M310010010001000���~����M3/H0.30.751.252.5��С�̶�ֵM30.110-40.2510-4110-4210-4��������ֵPa1000100010001000���~�����ʕr��%+-1+-1+-1+-1���~�����ʕr������Pa��=80808080�����ߴ磨�L����M(j��n)M��490264220490264304480480550520520580����KG4.55.41015�����y���|(zh��)LML�͞���ͨ��������S�~���|(zh��)��һ���ڟo���g�Ԛ��w������(n��i)ʹ����LMF�͞����������ò��P䓲��|(zh��)���ɜy�����g�Ԛ��w�� 

����˾�LJ���(n��i)һ�����a(ch��n)��yʽ�|(zh��)������Ӌ(j��)�ďS�ң�����΢̎�����Ƽ��g(sh��)���Ɍ����w�|(zh��)�������M(j��n)�����ܻ��y����

D Flow��2000��(sh��)������Ӌ(j��)����΢̎�����Ƽ��g(sh��)�������w�����M(j��n)�����ܻ��y��������Ӌ(j��)�����_���؏�(f��)�Ըߣ��؏�(f��)�Ը��������������y�����㣬��늵͵����c(di��n)���������ښ��w�������y������λ��ml/min��

�x������Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)�y��������0��500ml/min�y�����ȣ�±3%���m�Üضȣ�0-50���m�Ý�ȣ�≤80%RH��0��35��y���������К��w����������⣩�@ʾ��ʽ�����Ԅ��@ʾ���w����ֵ���@ʾλ��(sh��)��3λ��

�a(ch��n) Ʒ �� �c(di��n)��<��xml:namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />

l  ��С�y���������_(d��)1����/�� (ml/day)

l  �y���ֱ��ʣ�1 ml

�@ʾ�ֱ��ʣ�0.01 ml

l  �y�����ȣ���3%

l  �m���ڶ��Ԛ��w���жȸ��g�Ԛ��w

�����Ӛ⡢������w�ȣ�

l  ���ϣ���֬������PMMA��/

��̼������PC��

l  ���г���У��(zh��n)���ܵĔ�(sh��)��Ӌ(j��)��(sh��)��

l  ����늳��\(y��n)����늳�ʹ�É�����5~7��

l  �S�o(h��)����

����Ҏ(gu��)��

�����ߵ���ډ�����ֱ�����wݔ��ͨ���ͻ�����ë��(x��)���Л]�з��]Һ�w

���ϣ����w����֬������PMMA�����y����Ԫ����̼������PC��

��(bi��o)��(zh��n)����

���

���M(j��n)���u�x�� 

WT-LUXϵ���������M(j��n)���u���w����Ӌ(j��)����΢̎�����g(sh��),���й��܏�(qi��ng)�������������������S�޺���,���bʹ�÷���ȃ�(y��u)�c(di��n),��Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)�_(d��)������ͬa(ch��n)Ʒˮƽ���V����(y��ng)����ʯ�͡������������ұ��ú̿���ИI(y��)���N���wӋ(j��)����

��Ҫ���c(di��n):1����(n��i)��ʽ�������ض�����������������ȫ���ܸ�,�Y(ji��)��(g��u)�o�����������^��2���͵��@ʾ�ض���������˲�r�������۷e������3������������̖̎���Ŵ����ͪ�(d��)�صĞV�����g(sh��)�����޳��ˉ������Ӻ͹ܵ�������a(ch��n)���ĸɔ_��̖��������������Ӌ(j��)�Ŀ��ɔ_������ʹС�������еķ�(w��n)���ԡ�4�� ���Еr�g�@ʾ����(sh��)�r��(sh��)��(j��)�惦֮�������oՓʲô��r�����܃�(n��i)����(sh��)��(j��)�����Gʧ,���Ա��档5�����C(j��)���ĘO��,�ܑ{��(n��i)늳ع���\(y��n)��,������ğo�����Դ�͵��@ʾ�x����6�����I�����������ܴa���o(h��),��ֹ����(sh��)�Ą���7�����^��180���S�����D(zhu��n)�����b������

�a(ch��n)Ʒ�x��

����LML-1 ��ʽ���w����Ӌ(j��)�Ĺ���ԭ��       ��ʽ���w����Ӌ(j��)��Ҫ�ɈA���Κ��w���D(zhu��n)�ļ�����ӛ��(sh��)�C(j��)��(g��u)���M������ʽ���w����Ӌ(j��)�nj�(sh��)�(y��n)�ҳ�Ҏ(gu��)�Ě��w�����z�y�x�������ʽ���w����Ӌ(j��)����ԭ��DƬ��ʾ����ʽ���w����Ӌ(j��)�D(zhu��n)�����ɈAͲ���Ă������Π���~Ƭ����(g��u)�ɡ��Ă��~Ƭ��(g��u)���Ă��w�e��ȵ�С�����ĵ��°벿���]��ˮ�С���ˮ����ˮλ��ָʾ�����w�ı������g���M(j��n)���̎�����M(j��n)������������^��픲��ų��r����ʹ�D(zhu��n)���D(zhu��n)�ӡ��D(zhu��n)�ӵĴΔ�(sh��)ͨ�^�X݆�C(j��)��(g��u)��ָᘻ�C(j��)еӋ(j��)��(sh��)��Ӌ(j��)��(sh��)Ҳ���Ԍ��D(zhu��n)�ĵ��D(zhu��n)�ӴΔ�(sh��)�D(zhu��n)�Q�����̖���h(yu��n)���@ʾ��

�������g(sh��)ָ��(bi��o)��

 ����ע�����(xi��ng)1��ʹ���^������Ҫ��(j��ng)��ע��x���(n��i)ˮλ��������t��Ӱ표y�����ȡ� 2��ʹ�������ضȑ�(y��ng)������15~25��֮�g������c�Ҝ���ͬ����ز(y��ng)≤2���� 3���ڃx��ָ��\(y��n)�D(zhu��n)��(sh��)�ܺ����M(j��n)���x��(sh��)�� 4����(d��ng)���y���w�ĉ������^��������ֵ1~6����1~6Kpa���r���x����Ȼ�����M(j��n)�й������˕r��(y��ng)������Ӌ(j��)ȡ�����ßo����Ƥ����ס����Ӌ(j��)���b���� ��(d��ng)���y���w���������^�~�����������~����������(n��i)ʹ�Õr���x����Ȼ�����M(j��n)�й��������˕r�y���ľ��ȕ����������� 5����ʽ���w�����ڲ�ʹ�Õr����(y��ng)���x���(n��i)�����sˮ�ŸɃ����ŷŕr��ʹ�÷�ˮ�y��Ȼ�󌢱��^�������ٌ�������������@�ӷ���(f��)�״Σ����܌���݆��(n��i)��ˮ�Ń��� 6����ʽ���w�������������^���҃�(n��i)���b�������(n��i)���Y(ji��)���� 7��������ʹ����r��������ÿ��z�(y��n)һ�ξ��ȡ�

����ʹ�÷���1�����x��[���ڹ����_�����{(di��o)���ؽ����ʹˮ��(zh��n)��ˮ��λ�����ģ�����ʹ����Ҫ������2�����_ˮλ�������ܷ���ñ��������(n��i)����ë���K��3���ڜض�Ӌ(j��)����Ӌ(j��)�IJ�׃�(n��i)����x���(n��i)ע�����sˮ�������sˮ��ˮλ�������׃�(n��i)�����r��ֹͣע�����sˮ����(d��ng)��������sˮ��ˮλ�������׃�(n��i)���ë���K���Ƀ�������һ�Εr�������Ƀ����r���ڌ�ë���K����ˮλ�������ܷ���ñ��(n��i)�����ҔQ�o�ܷ���ñ��4���b�Üض�Ӌ(j��)�͉���Ӌ(j��)����ÿһС��10Pa��5�����M(j��n)���ⷽ���B�ӺÚ�·�������ܷ���6���_�����y�������M(j��n)�К��w�y��������ע�����(xi��ng)

1��ʹ���^���У�Ҫ��(j��ng)��ע��x���(n��i)ˮλ��������t��Ӱ표y��������

2��ʹ�������ضȑ�(y��ng)������15~25��֮�g������c�Ҝ���ͬ����ز(y��ng)≤2����

3���ڃx��ָ��\(y��n)�D(zhu��n)��(sh��)�ܺ����M(j��n)���x��(sh��)��

4����(d��ng)���y���w�ĉ������^��������ֵ1~6����1~6Kpa���r���x����Ȼ�����M(j��n)�й������˕r��(y��ng)������Ӌ(j��)ȡ�����ßo����Ƥ����ס����Ӌ(j��)���b������(d��ng)���y���w���������^�~�����������~����������(n��i)ʹ�Õr���x����Ȼ�����M(j��n)�й��������˕r�y���ľ��ȕ�����������

5����ʽ���w�����ڲ�ʹ�Õr����(y��ng)���x���(n��i)�����sˮ�ŸɃ����ŷŕr��ʹ�÷�ˮ�y��Ȼ�󌢱��^�������ٌ���������£��@�ӷ���(f��)�״������܌���݆��(n��i)��ˮ�Ń���

6����ʽ���w�������������^���҃�(n��i)���b�������(n��i)���Y(ji��)����

7��������ʹ����r��������ÿ��z�(y��n)һ�ξ�����

�ػݹ���(y��ng)�‡�SF-586��ʽ���w����Ӌ(j��)