項目 | 技術指標 |
儀器型號 | EM12-PV |
激光波長 | 632.8nm (He-Ne Laser) |
膜厚測量重復性(1) | 0.2nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
0.2nm (對于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層) | |
折射率精度(1) | 2x10-3 (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
2x10-3 (對于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層) | |
單次測量時間 | 與測量設置相關,典型1.6s |
光學結構 | PSCA(Δ在0°或180°附近時也具有極高的準確度) |
激光光束直徑 | 1-2mm |
入射角度 | 40°-90°可手動調節(jié),步進5° |
樣品方位調整 | 一體化樣品臺輕松變換可測量單晶或多晶樣品 |
可測量156*156mm電池樣品上每個點 | |
Z軸高度調節(jié):±6.5mm | |
二維俯仰調節(jié):±4° | |
樣品對準:光學自準直顯微和望遠對準系統(tǒng) | |
樣品臺尺寸 | 平面樣品直徑可達Φ170mm |
兼容125*125mm和156*156mm的太陽能電池樣品 | |
的膜層厚度范圍 | 粗糙表面樣品:與絨面物理結構及材料性質相關 |
光滑平面樣品:透明薄膜可達4um,吸收薄膜與材料性質相關 | |
外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時) |
儀器重量(凈重) | 25Kg |
選配件 | 水平XY軸調節(jié)平移臺 |
真空吸附泵 | |
軟件 | ETEM軟件: |
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