• �y(c��)����(f��n)��: X�S: 100mm
• Z�S:800µm.80µm.8µm
• ��ֱ��:0.5µm/100mm ������: X�S: 0.1µm, 0.01µm/800µm Z �S: 0.001µm/80µm,0.0001µm/8µm
• �y(c��)����:0.75mN
• �y(c��)�:�|�(�ʯ): �A�F90 ������ʰ돽: 5µm skid(��Ӳ) ���ʰ돽: 40mm
• �y(c��)���ٶ�:�(q��)��(d��ng)�ٶ�: 0.02~2 mm/s(7�A��) �����ٶ�:5mm/s ��λ�ٶ�: 0.1~2 mm/s(�u�U�����r(sh��))�ք�(d��ng)
• �(q��)��(d��ng)���Ƅ�(d��ng)��(f��n)��: Z�S300mm
• ��(sh��)ֵݔ��:RS-232C
• ʹ�Üضȹ�(f��n)��: 15~25��
• �Դ: AC100~240V
• SURFPAKܛ�w

���g(sh��)����(sh��)X �S���y(c��)������: 100mm �� 200mm���ֱ���: 0.05µm���z�y(c��)����: ���Ծ��a�����(q��)��(d��ng)�ٶ�: 0 - 80mm/s���y(c��)���ٶ�: 0.02 - 5mm/s�� �Ƅ�(d��ng)����: ���ֱ����: ��0.05+1L/1000��µm*��0.5µm/200mm: �y(c��)��������200mm����̖(h��o)�����A�Ƿ���: ±45ºZ2 �S ������������ֱ�Ƅ�(d��ng): 300mm �� 500mm����(d��ng)���(q��)��(d��ng)���ֱ���: 1µm���z�y(c��)����: ABSOLUTE ���Ծ��a�����(q��)��(d��ng)�ٶ�: 0 - 20mm/s�z�y(c��)�����������ֱ���: 800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm,8µm / 0.0001µm ��ʹ�Üy(c��)�^�x���r(sh��)�������_(d��)2400µm�����z�y(c��)����: �o܉����܉�y(c��)�����y(c��)��: 4mN �� 0.75mN ���͜y(c��)���ͣ����y(c��)�ᘼ�: ����ʯ��90º / 5µmR��60º / 2µmR: �͜y(c��)���ͣ�����(d��o)�^���ʰ돽: 40mm���z�y(c��)����: ���(d��ng)늸�ʽ�����ߴ� ��W x H��: 600 x 450mm �� 1000 x 450mm��������: �����r�ߴ� ��W x D x H��: 756 x 482 x 966mm ��S4 �ͣ�756 x 482 x 1166mm ��H4 �ͣ�1156 x 482 x 1176mm ��W4 �ͣ�766 x 482 x 966mm ��S8 �ͣ�766 x 482 x 1166mm ��H8 �ͣ�1166 x 482 x 1176mm ��W8 �ͣ����� 140kg ��S4, S8 �ͣ�150kg ��H4, H8 �ͣ�220kg ��W4, W8 �ͣ�*L ���(q��)��(d��ng)�L�� ��mm���u(p��ng)������: SURFPAK-SV�u(p��ng)��݆����P ����݆����, R ������ֲڶ�݆����, WC, WCA, WE, WEA, ������DIN4776 ݆�������j(lu��)���ྀ���ֲڶ� motif������ motif�u(p��ng)������(sh��)��Ra, Rq, Rz, Ry, Rz��JIS��, Ry��DIN��, Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,��Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc ��Ppi��, Sm, HSC, mr, δc, plateau ratio,��mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Δa, Δq, λa, λq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1,��A2���ֲڶ� motif ����(sh��): Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM������ motif ����(sh��): Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW�����D����ADC, BAC1, BAC2�������V�D�������P(gu��n)�D��Walsh �����V�D��Walsh �����P(gu��n)�D�� �Aб�ֲ��D���ֲ���ֵ�ֲ��D������(sh��)�ֲ��D�V����� 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% ����λУ����,��2CR-50% ����λУ����, ��˹-50%��ֹ���L*��λc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm��fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm��fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mmȡ���L�� ��L��*��0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mmȡ���L�ȡ��Aб�a(b��)����R ƽ�� �����棩 �a(b��)�����E�A�a(b��)�������ﾀ�a(b��)�������p�����a(b��)�������������Ԅ�(d��ng)�a(b��)���� ���(xi��ng)ʽ�a(b��)���������(xi��ng)ʽ�Ԅ�(d��ng)�a(b��)��* ����0.025mm ������Ƅ�(d��ng)�L���gָ�������L����