SIS 2000基本信息
| 品牌： | SNU | 型號(hào)： | SIS 2000 | 操作方式： | 自動(dòng) |
| 功能： | 檢測(cè)、觀察、分析 | 精度 ： | 1nm | | |
| 其它型號(hào)： | SIS 1200 |
SIS 2000產(chǎn)品特點(diǎn)
1、非接觸式測(cè)量：避免物件受損。2、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。5、高速數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。8、測(cè)量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
SIS 2000技術(shù)參數(shù)
| 機(jī)型 | SIS 2000 |
| 工作臺(tái) | 尺寸 | 350mm×350mm |
| 傾斜度 | ±3 ° |
| 測(cè)量行程 | X:200mm Y:200mm |
| Z軸行程 | 100mm |
| 運(yùn)動(dòng)方式 | 自動(dòng)，馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
| 掃描速度 | 30μm/sec |
| 垂直分辨率 | 0.1nm |
| CCD | 黑白CCD， 640×480 像素 |
| 物鏡安裝架 | 手動(dòng) 5個(gè)位移的可定位夾具 |
| 鏡頭選配 | 鏡頭：5×、10×、20×、50× |
SIS 2000應(yīng)用領(lǐng)域
1、TFT產(chǎn)業(yè)2、半導(dǎo)體3、MEMS4、高？蒲5、精密加工