緊湊型、模塊化和智能化CCU-010為一款結(jié)構(gòu)緊湊、全自動型的離子濺射和/或蒸發(fā)鍍碳設(shè)備,使用非常簡便。采用獨特的插入式設(shè)計,通過簡單地變換鍍膜頭就可輕松配置為濺射或蒸鍍設(shè)備。在鍍膜之和/或之后,可以進行等離子處理。模塊化設(shè)計可輕松避免金屬和碳沉積之間的交叉污染。CCU-010標配膜厚監(jiān)測裝置。
特點和優(yōu)點✬高性能離子濺射、蒸發(fā)鍍碳和等離子處理✬有的自動碳源卷送設(shè)計–多達數(shù)十次碳鍍膜,無需用戶干預(yù)✬獨特的即插即用濺射和蒸碳鍍膜模塊✬一流的真空性能和快速抽真空✬結(jié)構(gòu)緊湊、可靠且易于維修✬雙位置膜厚監(jiān)控裝置,可兼容不同尺寸的樣品✬主動冷卻的濺射頭可確保鍍膜質(zhì)量并延長連續(xù)運行時間
巧妙的真空設(shè)計CCU-010 LV精細真空鍍膜系統(tǒng)為SEM和EDX的常規(guī)高質(zhì)量濺射鍍膜和鍍碳而設(shè)計。模塊化的設(shè)計可將低真空單元后續(xù)很輕松地升為高真空單元。特別選擇和設(shè)計的材料、表面和形狀可大大縮短抽真空時間。兩個附加的標準真空法蘭允許連接第三方設(shè)備。
SP-010 & SP-011濺射模塊兩種濺射模塊一旦插入CCU-010 LV鍍膜主體單元,即可使用。SP-010和SP-011濺射模塊具有有效的主動冷卻功能,連續(xù)噴涂時間長,非常適合需要較厚膜的應(yīng)用。 可選多種濺射靶材,適合SEM等導(dǎo)電薄膜應(yīng)用。SP-010濺射裝置的磁控組件旨在優(yōu)化靶材使用。這使其成為電子顯微鏡中精細顆粒貴金屬鍍膜的理想工具。對于細顆粒尺寸鍍膜,推薦使用渦輪泵抽真空的CCU-010 HV版本。SP-011濺射裝置的磁控組件用于大功率濺射和寬范圍材料的鍍膜。對那些比常規(guī)EM應(yīng)用要求鍍膜速率更高、膜層要求更厚的薄膜應(yīng)用時,推薦使用該濺射頭。
CT-010碳蒸發(fā)模塊緊湊的插入式碳蒸發(fā)模塊為鍍碳樹立了新標桿。將該頭插入CCU-010 LV鍍膜主體后,即可立即使用,適合SEM等需要高質(zhì)量碳膜應(yīng)用的場合。CT-010使用歐洲有的、獨特且技術(shù)先的碳繩卷軸系統(tǒng),可以進行多達數(shù)十次涂層的鍍膜,而無需更換碳源。一段碳繩蒸發(fā)后,新的一段會自動進,用過的碳繩會掉落到方便的收集盤中。除了易于使用外,自動卷軸系統(tǒng)還允許在一個鍍膜循環(huán)內(nèi)可控地沉積幾乎任何厚度的碳膜。易于選擇的鍍膜模式可保障鍍膜安全,從對溫度敏感的樣品進行溫和的蒸鍍薄膜到中厚膜層的高功率閃蒸鍍碳。整合脈沖蒸發(fā)、自動啟動擋板后除氣及膜厚監(jiān)控的智能電源控制提供了精確的膜層厚度,并可避免火花引起的表面不均勻。
GD-010輝光放電模塊可選的GD-010輝光放電系統(tǒng)可快速安裝,通過空氣、氬氣或其它用氣體進行表面處理,例如,使碳膜親水。本機可按順序進行碳鍍膜和輝光放電處理,無需破真空或更換處理頭,大地簡化了操作過程。本單元安裝到CT-010,與所有樣品臺兼容。
HS-010真空儲存箱HS-010真空儲存箱可在真空條件下存放備用鍍膜頭、備用行星臺或旋轉(zhuǎn)臺、所有濺射靶材和碳附件,使它們處于清潔狀態(tài)。通過集成的真空管路與鍍膜主體單元連接,利用CCU-010抽真空系統(tǒng)對儲物箱抽真空?蛇x地,用戶也可用外接真空泵替代。舒適的手動鎖定裝置和放氣閥允許對儲物箱進行獨立的抽真空和放氣控制。額外的標準真空腔室可有效地避免蒸碳和濺射金屬之間的交叉污染。
ET-010等離子刻蝕單元在對樣品進行鍍膜之或鍍膜之后,可以對樣品進行等離子刻蝕處理。使用該附件,可以選擇氬氣、其它蝕刻氣體或大氣作為處理氣體。這樣可以在鍍膜清潔樣品,增加薄膜的附著力。也可在樣品鍍碳后進行等離子處理,從而對碳膜表面進行改性。
Coating-LAB軟件使用基于PC的Coating-LAB軟件,可查看包括圖表信息在內(nèi)的處理數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)包括壓力、電流、電壓、鍍膜速率和膜厚,鍍膜速率為實時曲線。便捷的軟件升和參數(shù)設(shè)置讓此智能工具更為完美。
RC-010手套箱應(yīng)用的遠程控制軟件◎基于window的遠程控制軟件◎創(chuàng)建和調(diào)用配方◎?qū)崟r圖表,包含導(dǎo)出功能(Excel、png等)◎自動連接到設(shè)備
可選多種樣品臺CCU-010提供一個直徑不小于60mm的樣品臺,該樣品臺插入到高度可調(diào)且可傾斜的樣品臺支架上?蛇x其它用的旋轉(zhuǎn)樣品臺、行星臺、載玻片樣品臺等。
CCU-010 LV普通真空鍍膜儀版本作為真空鍍膜系統(tǒng)的基礎(chǔ)單元,CCU-010 LV 為 SEM 和 EDX 的常規(guī)高質(zhì)量濺射和/或碳鍍膜而設(shè)計?蛻艨蛇x擇:CCU-010 LV磁控離子濺射鍍膜儀;CCU-010 LV熱蒸發(fā)鍍碳儀;CCU-010 LV離子濺射和鍍碳一體化鍍膜儀;CCU-010 LV手套箱用鍍膜儀
SAMDRI-PVT-3D超臨界干燥儀
先進的常規(guī)臨界點干燥儀
臨界點干燥原理之所以稱為臨界點干燥(又稱超臨界干燥),因為它存在狀態(tài)的連續(xù)性,即介質(zhì)在液態(tài)和氣態(tài)之間無明顯的區(qū)別,分界面的表面應(yīng)力降到零。這種現(xiàn)象具有特定的溫度和壓力,被稱為臨界點。零表面應(yīng)力這種條件可用于干燥生物樣品或含水材料樣品,避免了表面應(yīng)力對試樣的損壞。 我們在電子顯微鏡(掃描電鏡透射電鏡)的生物樣品或含水材料樣品制備時經(jīng)常需要進行脫水處理(梯度脫水),但水的臨界點為+374℃及3212 psi,很不方便并且容易損壞試樣。通常也是非常方便的臨界點干燥介質(zhì)為CO2,它的臨界點在+31℃及1072 psi。然而它不容易與水混合,因而必須用第三種介質(zhì),通常用乙醇或丙酮作為中間液體。這樣在把過渡液體,即CO2 從液體轉(zhuǎn)為氣體時,在臨界點無表面應(yīng)力對樣品的破壞。
特點和優(yōu)點
❖ 緊湊的桌上型設(shè)備,占用空間小
❖ 通過微流量閥實現(xiàn)精確流量控制,游標刻度支持可重復(fù)的流量設(shè)置
❖ 便捷的頂裝式工作腔室
❖ 帶可視窗口,可觀察腔室內(nèi)部狀態(tài)
❖ 裝有顆粒過濾器,保護樣品和閥門
❖ 內(nèi)表面材質(zhì)耐用于液態(tài)CO2和超純乙醇環(huán)境
❖ 自動臨界點溫度-壓力調(diào)節(jié),確保系統(tǒng)安全
❖ 快速冷卻腔室(室溫下約1分鐘)
❖ 可選配冷凝器,收集廢棄乙醇,并消除置換排放時的噪音
主要技術(shù)規(guī)格
➢ 工作腔室直徑:1.25"I.D.
➢ 溫度測量范圍:-30 °C to 60 °C
➢ 壓力測量范圍:0 to 2,000psi.
➢ 控溫方式:全自動溫度、壓力控制
➢ 放氣方式:微流量閥精確控制
常規(guī)配置
✓ 柔性編織不銹鋼耐高壓管,用于輸送液態(tài)CO2
✓ 外部液態(tài)CO2過濾系統(tǒng),可去除水/油及小顆粒
✓ 排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣
✓ 備用腔室O型密封圈、腔室燈和保險絲
注:美國Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史,在中國客戶中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國區(qū)代理。Tousimis臨界點干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類,者常用于電鏡制樣,后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途;
非潔凈室版本共有7款CPD:
1)Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點干燥儀
2)Samdri®-795半自動臨界點干燥儀
3)Autosamdri®-815 Series A全自動臨界點干燥儀
4)Autosamdri®-815B Series A全自動臨界點干燥儀
5)Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
6)Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
7)Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動臨界點干燥儀
潔凈室版本共有9款CPD:
1)Autosamdri®-815 Series B全自動臨界點干燥儀For Die & 1”Wafers
2)Autosamdri®-815B Series B全自動臨界點干燥儀For 4”Wafers
3)Automegasamdri®-915B, Series B全自動臨界點干燥儀For 6”Wafers
4)Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
5)Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動多用途臨界點干燥儀
6)Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動臨界點干燥儀
7)Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀For 4”Wafers
8)Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀For 6”Wafers
9)Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動臨界點干燥儀For 8”Wafers
美國Tousimis超臨界干燥儀廣泛適用于生物樣品,凝膠等具有微納米3D結(jié)構(gòu)的脆弱復(fù)雜樣品,以及MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導(dǎo)體晶圓(大樣品尺寸8英寸,一次同時干燥5片)等材料類樣品的臨界點干燥。利用CO2臨界點狀態(tài)無液相表面張力引起樣品皺縮變形的原理獲取具有真實形貌的干燥樣品,是含水或其它液體的細胞組織等生物樣品、半導(dǎo)體等材料樣品干燥制樣的有效方法;具有操作簡便、控制精確、結(jié)果可重復(fù)等特點。其中,經(jīng)典的SAMDRI®-PVT-3D和屢獲殊榮的Autosamdri®-931高觸摸屏全自動CPD等型號尤其令人矚目?蛻艨苫诓煌膽(yīng)用選擇不同的型號。
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