安捷倫 DSO6012A 示波器
DDS-320型電導(dǎo)率儀適用于精密測(cè)量各種液體介質(zhì)的電導(dǎo)率儀,當(dāng)配以0.1、0.01規(guī)格常數(shù)的電導(dǎo)電極時(shí),可以精確測(cè)量高純水電導(dǎo)率。儀器廣泛適用于各領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)。儀器特別設(shè)計(jì)的基本測(cè)量、溫補(bǔ)測(cè)量?jī)煞N方式,使標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量和溫補(bǔ)測(cè)量誤差最小。儀器有溫度測(cè)量和溫度自動(dòng)補(bǔ)償功能,使電導(dǎo)率測(cè)量變得極為方便和精確。
技術(shù)參數(shù)
測(cè)量范圍:COND:0~2×105μS
TENP:-30~120℃
度:0.5%
溫度補(bǔ)償范圍:15~35℃
穩(wěn)定性:0.1%
記錄輸出:0~20mV
電源:AC:220V±10% 50/60Hz
外形尺寸:280×180×100mm
重量:1.5kg
一、HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
二、產(chǎn)品特點(diǎn):
1)設(shè)備外殼采用316L不銹鋼材質(zhì)制作,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內(nèi)膽外壁,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置;采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實(shí)驗(yàn)情況。
2)箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)保持高真空度。
3) 采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫,定時(shí),超溫報(bào)警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡(jiǎn)單易用,性能穩(wěn)定.
4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間。
5)HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),使真空箱密封性能極好,確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。
6)整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)醫(yī)用級(jí)316L不銹鋼材料制作,無(wú)發(fā)塵材料,適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境。
三、產(chǎn)品型號(hào)及參數(shù):
型號(hào):PVD-090-HMDS
容積:90L
控溫范圍:R.T.+10~250℃
溫度分辨率:0.1℃
控溫精度:±0.5℃
隔板數(shù)量:2PCS
真空度:<133Pa
真空泵:DM4(外置連接)
電源:AC220/50HZ
額定功率:3.0KW
內(nèi)膽尺寸mm:450x450x450 (W*D*H)
外形尺寸mm:650x640x910 (W*D*H)
木箱包裝mm: 840x750x1100(W*D*H)
連接管:316不銹鋼波紋管,將真空泵與真空箱完全密封無(wú)縫連接
四、PVD-090-HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理:
PVD-090-HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
五、PVD-090-HMDS系列預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程:
首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,開(kāi)始充入氮?dú),充到某低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開(kāi)始保持一段時(shí)間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空,充入HMDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,停止充入HMDS藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú),完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),在硅片表面生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。
六、尾氣排放:
多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道。在無(wú)專用廢氣收集管道時(shí)需做專門處理。
七、產(chǎn)品操作控制系統(tǒng)平臺(tái)配置:
1.采用DM4直聯(lián)旋片式真空泵
2.采用AISET溫控器控制溫度,日本三菱可編程觸摸屏操作模塊.
3.固態(tài)繼電器
其它選配:
1)加急停裝置(標(biāo)配已含)
2)波紋管2米(標(biāo)配含1米)
3)富士溫控儀表(溫度與PLC聯(lián)動(dòng))
4)三色燈
5)增加HMDS液體瓶
6)下箱柜子(304不銹鋼)
7)壓力記錄儀(帶曲線)
8)溫度記錄儀(帶曲線)
備注:選配壓力記錄儀、溫度記錄儀時(shí),因工藝需要改變?cè)O(shè)備整個(gè)外箱結(jié)構(gòu),請(qǐng)參考實(shí)物圖。外殼采用SS41粉末靜電噴涂,內(nèi)膽采用316L不銹鋼,外箱尺寸為(W*D*H)mm:980x655x1600(含下箱柜高700),下箱柜空置。
SIMOREG DC Master 6RA70 | | | ||||
MLFB | Description | |||||
3AC 400V 1Q | | | ||||
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6RA7031-6DS22-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 125A, 1Q | | ||||
6RA7075-6DS22-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 210A, 1Q | | ||||
6RA7078-6DS22-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 280A, 1Q | | | |||
6RA7081-6DS22-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 400A, 1Q | | ||||
6RA7085-6DS22-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 600A, 1Q | | ||||
6RA7087-6DS22-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 850A, 1Q | | ||||
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6RA7095-4DS22-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 2000A, 1Q | | ||||
3AC 400V 4Q | | | ||||
6RA7013-6DV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 15A, 4Q | | ||||
6RA7018-6DV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 30A, 4Q | | ||||
6RA7025-6DV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 60A, 4Q | | ||||
6RA7028-6DV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 90A, 4Q | | ||||
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6RA7085-6DV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 600A, 4Q | | ||||
6RA7087-6DV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 850A, 4Q | | ||||
6RA7091-6DV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 1200A, 4Q | | ||||
6RA7093-4DV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 400, 1600A, 4Q | | ||||
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3AC 575V 1Q | | | ||||
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3AC 575V 4Q | | | ||||
6RA7025-6GV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 575, 60A, 4Q | | ||||
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6RA7095-4GV62-0 | SIMOREG DC-MASTER 6RA70 3AC 575, 2000A, 4Q | |
安捷倫 DSO6012A 示波器
一、適用范圍:適用于長(zhǎng)途通信和局間通信 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
二、敷設(shè)方式:自承式架空 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
三、適用溫度:-40℃~+60℃ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
四、相關(guān)證書: | 電力專用通信設(shè)備進(jìn)網(wǎng)許可證 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
五、產(chǎn)品特點(diǎn):1、光纖傳輸損耗小、色散低2、光纜具有優(yōu)良的機(jī)械性能和環(huán)境性能3、結(jié)構(gòu)緊湊、采用SZ層絞結(jié)構(gòu),確保惡劣環(huán)境下光纖不受力4、光纜全為非金屬結(jié)構(gòu)、重量輕,敷設(shè)方便,抗電磁干擾強(qiáng)5、光纜為自乘式架設(shè),抗拉強(qiáng)度高,抗外界環(huán)境能力強(qiáng),光纜柔韌性和抗彎曲能力強(qiáng) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
六、結(jié)構(gòu)示意圖 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
七、技術(shù)參數(shù) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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顆粒度清潔取樣瓶根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)平均檢出質(zhì)量極限AOQL和清潔度等級(jí)RCL均達(dá)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn);
顆粒度清潔取樣瓶可經(jīng)過(guò):ISO 3722、GB/T17484、NAS1638、ISO4406、SAE749D、ISO16232、GJB420A/B、GB/T14039、DL/T427和DL/T1096驗(yàn)證,完全符合ISO3722《液壓傳動(dòng)·取樣容器清洗方法的鑒定》清洗器具的標(biāo)準(zhǔn)要求。
顆粒度清潔取樣瓶耐高溫高壓,耐酸堿、濃硫酸和重鉻酸鉀,有機(jī)試劑配置的洗液浸泡,防漏外旋蓋,瓶口O形防滴漏圈!
顆粒度清潔取樣瓶,瓶蓋顏色還有藍(lán)色、橙黃、粉紅可供選擇! 優(yōu)質(zhì)材料,高硬度,高透明度!全自動(dòng)設(shè)備生產(chǎn),品質(zhì)優(yōu)良一致! 可替代其他產(chǎn)品!
顆粒度清潔取樣瓶適用于各種液體顆粒度測(cè)試的采樣,又稱清潔瓶、取樣瓶、凈化瓶、無(wú)菌瓶、潔凈瓶、濾液瓶。顆粒計(jì)數(shù)器清潔取樣瓶是采用超聲波清洗機(jī)清洗、十萬(wàn)級(jí)潔凈風(fēng)風(fēng)淋,烘干密封,紫外滅菌,清潔度驗(yàn)證等一整套工藝制作而成,取樣瓶清潔度:NAS1638-00級(jí),是顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行液體污染度測(cè)試的采樣容器。
顆粒度清潔取樣瓶可廣泛用于液壓元器件、液壓系統(tǒng)、液壓站、油缸、齒輪箱、變速箱、變壓器、汽輪機(jī)組、反應(yīng)釜、馬達(dá)、發(fā)動(dòng)機(jī)、泵、閥、輪轂、能器、過(guò)濾器、冷卻器、加熱器、油管、管接頭、油箱、壓力計(jì)、流量計(jì)、密封裝置等等的油樣抽樣及手動(dòng)取樣。
技術(shù)闡述:
平均檢出質(zhì)量限度AOQL:0.5%
清潔度等級(jí)RCL:15個(gè)/100mL
驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn):NAS1638或GJB380
容積:50ml、100ml、120ml、150ml、220ml、250ml、300ml、500ml、1000ml
產(chǎn)地:西安
品牌:普勒/PUll 請(qǐng)認(rèn)準(zhǔn)普勒/PULL商標(biāo)!
材質(zhì):玻璃/高硅硼/塑料/PP/PE
耐溫:150度
耐壓:0.1mpa
潔凈度:NAS 00~4級(jí),可定制
供應(yīng):現(xiàn)貨供應(yīng)
起訂量:12只
檢測(cè)方:普研檢測(cè)
可替代:各類標(biāo)準(zhǔn)顆粒計(jì)數(shù)器要求用取樣瓶
配套性:可配套各類油液污染取樣、顆粒檢測(cè)取樣、清潔度分析取樣、油液監(jiān)測(cè)取樣、油液分析取樣、常規(guī)取樣。
配套儀器:顆粒計(jì)數(shù)器、 顆粒計(jì)數(shù)儀、 顆粒計(jì)數(shù)系統(tǒng) 、油液顆粒度分析儀;
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