德國 picosun p-1000 pro ald 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī),156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(雙面/背對背),高達(dá)400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(雙面/背對背),(w x h x d) 230 cm x 270 cm x 125 cm,標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 al2o3 工藝.
picosun p-300 advanced ald 高級型原子層沉積機(jī).156 mm x 156 mm硅片50~100片/批次(雙面/背對背),高達(dá)300 mm x 300 mm玻璃基板10~20片/批次(雙面/背對背);roll-to-roll, 襯底最大寬 300 mm。全自動轉(zhuǎn)載,用工業(yè)機(jī)器人實(shí)現(xiàn),標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 al2o3 工藝 .
picosun p-300b advanced ald 高級原子沉積機(jī),基片尺寸和類型 300mm晶圓10片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距),200mm晶圓25+2片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距),(w x h x d) 149 cm x 191 cm x 111 cm,標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 al2o3 工藝.
p-300s 生產(chǎn)線型原子層沉積機(jī),最大300mm晶圓/單片,25片晶圓盒對盒式全自動裝載(cassette-to-cassette),用picoplatform™ 300集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn),尺寸:(w x h x d) 160 cm x 80 cm x 240 cm
牛津oxford system 100 等離子刻蝕與沉積設(shè)備,該設(shè)備是一個(gè)靈活和功能強(qiáng)大的等離子體刻蝕和淀積工藝設(shè)備,具有工藝靈活性,適用于化合物半導(dǎo)體,光電子學(xué),光子學(xué),微機(jī)電系統(tǒng)和微流體技術(shù).
英國hhv auto 306 科研工作者和電子顯微學(xué)家的多功能鍍膜設(shè)備,是一種多功能的緊湊型鍍膜設(shè)備,設(shè)計(jì)用于滿足科研工作者和電子顯微學(xué)家的需求。auto306可配備各種真空系統(tǒng)、真空腔室和標(biāo)準(zhǔn)化工藝附件,提供一系列實(shí)驗(yàn)技術(shù)以滿足現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室的需要。
hysitron ti 980 納米壓痕儀bruker hysitron ti 980 triboindenter 加速納米力學(xué)研究進(jìn)入更高階段,同時(shí)具有高的性能、靈活性、可信度、實(shí)用性和速度;诤K紕(chuàng)幾十年的技術(shù)創(chuàng)新,它為納米力學(xué)表征帶來了高水平的性能、功能和易用性。ti 980達(dá)到了臺優(yōu)異納米力學(xué)測試儀
德國leica em txp全新精研一體機(jī),是一款獨(dú)特的可對目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行精確定位的表面處理工具,特別適合于sem,tem及l(fā)m觀察之對樣品進(jìn)行切割、拋光等系列處理。它尤其適合于制備高難度樣品,如需要對目標(biāo)精細(xì)定位或需對肉眼難以觀察的微小目標(biāo)進(jìn)行定點(diǎn)處理。