德國 picosun p-1000 pro ald 生產(chǎn)型原子層沉積機,156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(雙面/背對背),高達400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(雙面/背對背),(w x h x d) 230 cm x 270 cm x 125 cm,標準設備驗收標準為 al2o3 工藝.
picosun p-300 advanced ald 高級型原子層沉積機.156 mm x 156 mm硅片50~100片/批次(雙面/背對背),高達300 mm x 300 mm玻璃基板10~20片/批次(雙面/背對背);roll-to-roll, 襯底最大寬 300 mm。全自動轉載,用工業(yè)機器人實現(xiàn),標準設備驗收標準為 al2o3 工藝 .
hysitron ti 980 納米壓痕儀bruker hysitron ti 980 triboindenter 加速納米力學研究進入更高階段,同時具有高的性能、靈活性、可信度、實用性和速度;诤K紕(chuàng)幾十年的技術創(chuàng)新,它為納米力學表征帶來了高水平的性能、功能和易用性。ti 980達到了臺優(yōu)異納米力學測試儀